芯片智能制造系统—MES
大家好,今天我们来聊一聊"MES".
12寸的芯片厂的目标是要打造成“关灯”工厂--全自动化的智能制造工厂,实时掌握生产和设备的情况,自动调整计划和参数,需要众多的系统集成和高度融合,这其中MES--整个智能制造系统的大脑,智能工厂重要的核心系统。
制造业有两个模式,流程型制造业和离散型制造业,请问下,芯片制造属于哪个模式?想必大家都会认为是流程型的吧!其实
芯片制造属于离散型制造业 ,是一个特别复杂的离散型制造业!从MES的系统中可以追溯到FAB的人,机,料,法,环,测,能(5M2E)。▌ MES(Manufacturing Execution System)制造执行系统为什么这么复杂?
MES涉及的功能模块众多,30+个类别,300+个功能模块。MES管控的级别精细--Wafer to Wafer(并非8寸厂的Lot级别)。MES系统的集成度要求高,需要与20+个系统进行无缝集成,其中又涉及到了1000+个集成功能的验证。MES系统的高可用性要求,除了得支持上万人的并发以外,还得支持兼容性在线升级,不能停机,保证99.99%的 UpTime.MES制造执行系统的功能类别主要分为Modeling和Run Time.
▌Modeling:
工厂,区域和组织的建模。各种设备机型和结构的建模(包括最新的Furnace Dual Tube).常用的载具的建模(包括FOUP,FOSB,Reticle Pod,ProbeCard等)。各种机台,载具,流程等状态管控的建模。工艺,检测和处置流程的建模(Flow的复用和客制化)。Product,Material,Lot等产品关联的建模。▌Run Time :
WIP Tracking:线上在制品的追溯,BY Wafer级别,可从机台,工艺,载具,控制方法和物料等追溯设备的管理:机台和子机台的状态和控制模式的转换管理。Lot & Wafer Level的管控:即可以通过Product管控至Lot和Wafer,也可以通过Wafer管控住Product和Lot。Recipe的管控:可以精确到Wafer级别的SubjectRecipe的设置和管控Tool Constraint:机台和子机台的多维度Constraint,从Loadport,Wafer,Lot,Product,Material等进行客制化约束Q-Time的管控:可以基于Wafer级别的连环Q-Time管控;Contamination的管控:前后段不同制程的污染管控,基于Wafer,Lot,Carrier,EQP,Loadport等维度的管控。工程数据的采集(EDC):可从PW,NPW,EQP,Parts,Environment等维度采集和分析数据。Lot Smart Sampling 和YE Smart Sampling等Sampling管控。Auto Pilot;支持Litho,CMP,ETCH,IMP等工艺的Auto Pilot。Monitor管控:控挡片的Control plan和水位线的自动管理。Season管控:暖机片的Control Plan和小片数的自动管理。Dummy管控:Inside & Outside的填充片的自动管理。Split Run Card & Recover Run Card。OCAP管理:支持OCAP流程的客制化和外部系统的集成和管控。Carrier的管理:支持Clean,Inspection(包括AMC)。Reticle的管理:支持Reticle的检测,和Pod,EQP的关联和管理。WAT管理:支持到ProbeCard的管理,并于第三方系统集成。用户账号和权限管理;用户账号,群组;Function,接口,IP等权限管控。Reason Code的管理;各种类别的Reason Code和用户群组,部门组织关联的管控。Auto Wafer Start,与APS集成,物料自动下线。OQA和出货(Label)的管理:支持客制化出货和标签的管理。Cross FAB的支持和管理;支持Lot,EQP,Carrier,Parts等Sharing的管理。Tool Auto Recover的管理;Tool recover回来的全自动流程管理。BGBM的支持;支持从BG到BM的全流程管理。Loader:建模数据的快速导入和导出等。Archive Query:支持Archive数据(至少15年)的追溯。▌ 涉及到的相关系统。
PMS(PlannedMaintenanceSystem)PTMS(Parts Management System)PRMS(Photoresist Management System)SPC(Statistical Process Control)AMS(Alarm Management System)EAP(Equipment Automation Programming)RMS(Recipe Management System)FDC(Fault Detection and Classification System)APC(Advanced Process Control)RTD(Real Time Dispatch)Full AutoReportFMB(FAB Monitor Board)DRB(Dispose Review Board)OA(Office Automation)ERP(Enterprise Resource Planning)FMS(FAC Management System)AMHS(Automatic Material Handling System)YMS(Yield Management System)APS(Advanced Planning and Scheduling)e-Rack SystemLabel PrintWJS(Wafer Judgement System)WMS(Warehouse Management System)SCM(Supply chain management)好啦,今天先聊到这,后面再跟大家展开聊聊!
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什么是MES系统?什么是工业40智能制造?
制造企业非常关注实现生产过程中的实时采集、提高生产排产的效率、实现制造过程的追溯、提升工人与设备的绩效、保证产品质量等问题。调研数据显示:92%的企业渴望加强对生产过程的控制。
大多数制造企业已经逐渐清醒地认识到生产技术领先和制造过程管理高效是其自身发展的关键环节,一些企业已经或正在实施公司级的ERP系统。ERP解决了企业资源计划问题,而对生产过程却无法做到管控。
因此,制造企业应用MES系统就变得日益重要。
MES系统其实是智能工厂信息化系统中的其中之一,也叫制造执行系统。
负责车间中生产过程的数字化管理, 实现信息与设备的深度融合,为ERP系统提供完整、及时、准确的生产执行数据 ,是智能工厂的基础。能提供生产现场及时信息给管理者,以便达到有效控制现场的目的。基于生产为核心,管控生产过程的物料、品质、人员、设备、工装等相关要素的一体化智能制造管理。MES应用不仅是实施一个信息化系统,已经成为提升企业生产管理水平,优化企业的生产管理模式,提升效益的核心手段之一。通过实施MES系统,可以贯通从采购到售后服务的全制造流程,透明化生产现场运作,大大提升了生产制造各部门的管理实时性和有效性。
MES的主要内容
MES系统着重解决生产过程管控、防错防呆、产质量追溯、设备运行等相关管理目标,具体如下:(1)全面集成。 承上启下,完成公司所有与MES系统链接的信息化系统 (如ERP、PLM等)、自动化控制系统(如钣金、铜排、二次裁线、产线等)和设备(如实验设备等)的无缝集成,通过MES系统整合上下游信息流、建立一个业务统一、流程顺畅、数据规范的生产管理平台。(2)精益排程 。结合ERP系统建立先进的计划体系,制定在产能和物资等资源约束条件下的详细排程计划,统一指挥控制物料、人员、流程指令和设备等工厂生产资源。(3)自动化物流和物料管理。 MES系统应覆盖部分WMS功能,并实现与自动化物流系统(如自动化立库、AGV小车等)一道完成生产物流管理,在数字化工厂内实现无人化自动物料流转,MES系统指挥和跟踪物料流动、管理物料消耗、编制物料投料计划等,同时采用工单、批次管理,实现对物料的跟踪和回馈。(4)质量管理。 质量管理以生产过程质量信息汇总和控制为核心,建立快速、高效全过程的质量反馈、质量处理、质量跟踪控制,MES系统自动生成各类质量报告和出厂试验报告等资料。(5)生产过程管理。 以全厂数据采集系统为基础,建立起综合控制系统,包括电子看板、SCADA系统集成、监控中心和Andon系统等,实时显示整个生产过程的各种现场数据,并按照预先设定的报条件,出现异常情况应及时报警提醒,并采取相应的调度措施。(6)设备管理。 对生产车间主要生产设备的使用频率、运行状况、工时、定额、能耗、产能等有关信息进行采集和分析,对设备进行全面的运筹管理,以达到保持设备完好率、充分发挥其效能的目的。(7)统计分析。 对实时数据进行统计分析 ,通过对大量数据的综合分析,可以对生产运行情况进行有效评价,为优化组织、提高产量质量、提高设备保障能力、降低生产成本提高强有力的手段 ,如员工绩效管理、核算计件工资、设备效率分等。(8)移动化应用。 支持手机、PDA等移动终端,实现移动端的派工报工、接料发料、数据录入、生产进度跟踪、实时统计分析展示等。
MES系统的作用
业务的协同性。 使传统的生产过程“黑箱”透明化,不仅提高了企业信息集成的程度,也使企业极大地改善了业务部门间的“协同性”。计划的适应性。 不仅使企业制定的生产计划具有了更明显的可操作性,使计划得到更有效的执行,同时,在计划执行可以得到保证的条件下,企业可以进一步提高计划的精确性和适应性,以便有效地配置和利用有限资源。成本的可控性。 在获取了大量更为准确的分步成本数据的基础上,不仅使企业可以更精确地核算和控制产品成本,也为降低产品成本指出了方向和方法。
茗鹤MES生产制造执行系统
茗鹤mes生产管理系统拓扑图
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