芯片智能制造系统--Auto DRB

哈喽，大家好，今天跟大家聊一聊DRB，12寸芯片的智能制造FAB中都引入了DRB的管理办法，且都与MES等系统进行集成,逐渐向Auto DRB发展。

什么是DRB（Dispose Review Board）,又叫处置委员会。主要是针对制程，机台和环境等对产品质量有直接或间接影响的事件的处置流程，确保产品的质量能够满足用户的需求，一般来说DRB是FAB内的PIE进行负责。

▌ 具体来说通常以下事件会走DRB：1.OCAP事件（量测结果异常事件，分为OOS，OOC等）。

2.Over QTime事件。

3.机台宕机事件。

4.机台保养延期事件。

5.特定的Rework事件。

6.特定的Double Run事件。

▌ 与DRB相关的是MRB和PCRB。

▌ MRB（Material Review Board），又叫物料处置委员会。主要针对物料异常相关的审核流程。

其中包括：原材料异常，动力异常，环境污染等事件。

▌ PCRB（Production Change Review Board），又叫产品变更处置委员会，主要针对产品的Flow，Recipe，类型和特定属性变更的审核流程。

什么是Auto DRB？

现在智能制造针借助于数据大模型和算法对DRB进行了优化和改造，Auto DRB主要体现在以下几点：

下面一张图概括下：

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《先进制造技术》试卷(B卷)答案及评分标准

职教鲶鱼侯银海学术劳育说：《先进制造技术》试卷(B卷)答案及评分标准

5.硅微体侧蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于(a体制蚀加工对基体材料进行加工，而面制蚀加工不对衬底材料进行加工:体制蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工， C、体制以加工可获得高纵模比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横

6.ERP的含义是() 制造资源计划物料需求计划c、企业资源计划d.产品数据管理

7.在进行纳米级测量两个导体的表面形貌时，常采用的测量仪器为(b)

一、单项选择题(每小题1分，共20分)

a电缆b扫描隧道显微镜c.图像处理技术

8.微细加工技术中的刻她工艺可分为下列哪两种(b)

题号46a离子束刻蚀，激光射蚀b、干法刻蚀，混法制蚀e，溅射加工、直写加工

,

答案9下不是制造自动化分系统的是()

题号111314a机械加工系统控制系统物c质量保证子系统d监控系统

12

答案ad10.下列不属于先进制造工艺所具有的显著特点的是(b)

题号1516171820a.优质:b.能耗大:c.洁净:d高效1。下列属于可回收性设计原则的是(a)

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等案b避免有相互影响的零件组合，避免零件的无损

1.机械系统的可靠性模型中串联系统的可靠度将因其组成单元数的增加而b.避免使用与循环利用过程不想兼容的材料或零件

(b)，并联系统的可靠度总是(b)任一单元的可靠度。e.实现零部件的标准化、系列化、模块化，减少零件的多样性

a.增大，小于b降低、大于c.增大、大于d降低、小于4易于拆卸，易于分离

2、高速加工机床的进给系统机构大多采用(.)

a.直线电机b滑动丝杠传动机构c、摩擦传动机构12，不适合用精密与超精密机床的微进给系统的方式为(a)

3.MRP的含义是(a)滚珠丝杠螺母机构b、压电陶瓷驱动装置5、弹性变形机构

a.物料需求计划:b制造资源计划e.企业资源计划点产品数据管理13.微细加工主要指微继尺寸零件大小在以下，加工精度为

4，下列那种说法不符合绿色制造的的悲想(。)的加工，下列选项正确的是(b)

。对生态环境无害b、资源利用率高，能源消耗低e.为企业创造利润a.1dm,0.1-0.01mm;b1cm.0.1-0.01mm;

c.1mm.0.01-0.001mm;d.1nm,0.01-0.001mm

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14.PIBS非常适合(c)2.先进制造技术的研究分为四大领域:现代设计技术、先进制造工艺、自动化

。大批大量生产方式b、品种单一、中等批量生产方式技术和系统管理技术。

C多品种、变批量生产方式3.快速原型制造常用的工艺方法立体印刷，分层实体制造，选择性激

15.不同的材料高速切削速度范围是不同的，其中铝合金和钛的高速切削速度范光烧结，沉积成形

围是(c)

a1000-5000m/min;1000-3000m/min;4.LIGA技术的机理由深层X射线光制、电铸成形及_望铸成形三个工艺

h.500~2000m/min :800~3000m/min:组成。

c2000--7500m/min:150-1000m/min;5.表面工程技术采用的方法包括:表面改性技术、表面预层技术及复合表面)技

16、衡量机器人技术水平的主要指标是(a)术

17.下列哪种说法不符合精益生产的思想(b)。自由度、工作空间c、提取重力运动速度

6.工业机器人的按系统功能分;专用机器人、通用机器人，示教再现机

。以销售部门作为企业生产过程的起点，产品开发与产品生产均以销售为型人、智能机器人 起点，按订货合同组织多品种小批量生产;

三、名词解释(每小题4分，共16分)

b、着重于一开始就对产品的关键因素进行全面考虑，以保证产品设计开发1粉末附金星制取金属粉末成用会属粉末(或金属粉末与非金属粉末的漏食

一次成功。物)作为原料，经过成形和烧结，制取金属材料、复合材料以及各种类型制品

c、把上道工序推动下道工序生产变为下道工序要求拉动上道工序生产，杜的工艺技术。

绝一切超前、超量生产;2.可靠度是指零件(系统)在规定的运行条件下，在规定的工作时间内，能正

18.下列哪种说法不符合敏捷制造的思想(e)常工作的概率。

准企业的应变能力是其关键因素:3.柔性制造技术就是一种主要用于多品种中小批量或变批量生产的制造自动

b.需要具有极高计算机操作水平和坚决执行指令的合格员工;化技术,它是对各种不同形状加工对象进行有效地且适应性转化为成品的各种

c.以物理、法律、社会、信息作为其基础机构技术总称。

19.下列不是并行工程特征的是d)4.绿色制造是综合考虑环境影响和资源利用效率的现代制造榄式，其目标是使

a.并行特性b整体特性c、协同特性d.一致特性产品从设计、制造、包装、运输、使用到报废处理的整个生命周期中，废育资

20.超精密机床床身材料多采用(d)源和有害排放物最小，即对环境的负面影响最小。对健康无害，资源利用效率

#.钢料ь铸铁C.合金d人造花岗岩最高。

二、填空题(每空1分，共20分)四、简答题(每小题6分，共24分)

1.热压室压铸机的压室与坩埚连成一体，因压室浸入液态金属中面得名;冷压1.在技术性的创新设计中，常用的思维形式有哪几种?(6分)

室压转机的压室与保温用埚是分开的。答:(1)分析与综合思维:(1分)(2)收敛与发散式思维:(1分)

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(3)对应与联想式思维:(1分)(4)离散与组合式思维。(1分)(2分)

(5)换元与移植式思维:(1分)(6)正向。迂回与反向思维(1分)在B(不可用切削区)，当速度、增大到某一数值vO后tvo的大小网工

2、什么是超塑性?超塑成形的特点?(6分)件材料的种类有关)，v再增大，。反而下降了。由于在这个区域。t太高,

答:所谓超型性，一般是指材料在低载荷作用下，其拉伸变形的伸长率超过100%任何刀具材料都无法接受，切削加工不可能进行。因此，这个区域被称之为“死

的现象。(1分)答”。(2分)

超塑成形的特点;C区，高速切削区，在这个区域内，随着x增加1持续下降，以现有的刀

(1)形状复杂的工件可一次成形。(1分)具进行超高速切削，会大幅度地减少切削工时，成功地提高机床的生产率。(2

(2)制件组织细小、均匀，且性能好、稳定。(1分)分)

料的流动应力非常小。(1分)(3)变形抗力小。超型性成形进入稳定阶段后，几乎不发生加工硬化、所以材1规切制区|不可用切削区」切闸区(4)流动应力对应变速率的变化敏感。(1分)(5)制件的精度高。(1分)

3.试简述SLA技术的工作原理。(6分)

答:SLA技术:在液槽中盛满液态光固化树脂，在一定剂量的紫外线光照射下就会在一定区域内固化。(2分)成形开始时，工作平台在液面下，聚焦后的激

光光点在液面上按计算机的指令逐点扫描，在同一层内则逐点固化，当一层扫切削速度

描完成后被照射的地方就固化，未被照射的地方仍然是液态树脂。(2分)然后超高速加工萨洛蒙曲线示意图(2分)

升降里带动平台再下降一层高度，上面又布满一层树脂。以便进行第二层扫描,2.电子束、离子東加工和激光加工相比，各自的使用范围如何，三者各有什么

新固化的一层牢固地粘在前一层上，如此重复直到三维零件制作完成。(2分)优缺点?(12分)

4、制造自动化的历史和发展可分为那几个阶段?(6分)答。三者都是高能束加工。

答:第一阶段;刚性自动化。(1分)电子更加工:通过控制电子束能量密度的大小和能量注入时间，就可以达到不

第二阶段:数控加工，包括数控和计算机数控。(1分)同的加工目的。如果只使材料局部加热就可进行电子束热处理:使材料局部熔

第三阶段:柔性制造。(1分)化可进行电子束焊接，提高电子束能量密度，使材料熔化或汽化，便可进行打

第四阶段，计算机集成制造和计算机集成制造系统。(1分)孔、切割等加工，利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化

第五阶段，新的制造自动化模式，如智能制造、敏捷制造、虚拟制造、网的原理，进行电子束光刻加工。(1)电子束加工是一种精密细微的加工方法。

络制造，全球制造、绿色制造等。(2分)(2)加工材料的范围较广。对脆性、韧性、导体与非导体及率导体材料都可以

五、间答题(第1小题8分，第2小题12分，共20分)加工。(3)加工速度快，效率高。例如，每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上钻50

个直径为0.4mm的孔。(4)加工工件不易产生家观应力和变形。因为电子束加

1.绘制超高速加工萨洛蒙曲线并说明其含义。(8分)工是非接触式加工，不受机械力作用，(5)可以通过磁场和电场对电子束强度、

答:萨洛辈指出:A区(常规切削区)。切削速度t随切削温度v的提高雨升高:

位置、聚焦等进行直接控制。位置精度可达0.1μm左右。而且便于计算机自动控制，(6)设备价格较责，成本高，同时应考虑X射线的防护问题。(4分)离子来加工:离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、画射效应和注入效应。(1)由于离子束可以通过电子光学系统进行聚焦扫描，离子東轰击材料是逐层去除原子，离子柬流密度及离子能量可以精确控制，所以离子刻蚀可以达到毫微米(0.000um)级的加工精度、离子镀膜可以控制在亚微米级精度，离子注入的深度和浓度也可极精确地控制。因此，离子束加工是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代毫循米加工(纳米加工)技术的基础。(2)由于离子束加工是在高真空中进行，所以污染少，特别适用于对易氧化的金属、合金材料和高纯度丰导体材料的加工。(3)离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的。它是一种微观作用，宏观压力很小，所以加工应力、热变形等极小，加工质量高，适合于对各种材料和低刚度零件的加工。(4)离子束加工设备费用昂资、成本高，加工效率低，因此应用范围受到一定限制。(4分)

激光加工:(1)加工方法多、适应性强，即可在大气中，也可在真空中进行加工。(2)加工精度，高威量好。(3)加工效率高，经济效益好。(4)节约能源与材料，无公害与污染。(5)加工用的是激光束，无刀具”磨损及切削力影响的问题。在激光加工中利用激光能量高度集中的特点，可以打孔、切割、雕刻及表面处理，利用激光的单色性还可以进行精密测量。

(1)激光打孔激光打孔是激光加工中应用最早和应用最广泛的一种加工方法。(2)激光切剂与激光打孔原理基本相同，(3)激光焊接激光焊接与激光打孔原理稍有不同，焊接时不需要那么高的能旅密度使工作材料汽化蚀除，而只要将工件的加工区烧熔，使其粘合在一起。(4)激光的表面热处理 利用激光对余属工件表面进行扫描，从而引起工件表面金相组织发生变化连面对工件表面进行表面淬火、粉末粘合等。此外，还可以利用激光除锈，激光消除工件表面的沉积物等。(4分)

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